北京化工大學、江蘇博硯科技有限公司聯(lián)合召開國家重點研發(fā)與產業(yè)化項目推進會,我國微電子加工用高端超純化學品關鍵技術取得重大突破,并已在宜興建成年產1000噸黑色光阻示范生產線。這意味著,長期受國外壟斷的微電子材料開始走向國產化,并為我國微電子及相關產業(yè)走出依賴“困境”起到了重要的引領作用。
微電子產業(yè)是我國國民經濟的支柱產業(yè),也是重點發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產業(yè)。但在此領域的核心技術、關鍵裝備與材料是我國產業(yè)的短板,長期受歐美、日本等國家和地區(qū)的壟斷。江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健說,“有資料顯示,2017年我國進口芯片花費2072億美元。從材料來說,目前國內自我供給僅占總需求的10%左右。這種被動局面繼續(xù)存在,將對我國信息安全及產業(yè)發(fā)展帶來很大的潛在風險?!?br/>
北京化工大學理學院院長聶俊介紹,該校主持承擔的“微電子加工用高端超純化學品”是國家重點研發(fā)與產業(yè)化項目,自去年啟動以來,通過產學研合作,突破了微電子加工用高端電子化學品超純化處理技術瓶頸,實現(xiàn)微電子加工用高感度光引發(fā)劑和弱堿顯影樹脂的結構設計及超純化規(guī)模制備,并將在國內建成超純三甲基鋁(7N級)、納米色漿、光阻材料生產線、建立光阻材料的性能評價平臺,實現(xiàn)從原材料至最終產品的自主配套。
北京化工大學黨委書記王芳認為,事實證明,核心技術買不來,只有靠自己,中國特色的產學研道路才能將打破壟斷、掌握核心技術做成功。微電子加工用高端超純化學品項目,能夠快速在關鍵技術上實現(xiàn)突破與量產,就是一個成功的范例。
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